Piese prelucrate CNC cu semiconductor
Producem la comandapiese prelucrate CNC cu semiconductordin desenele clientului și fișierele CAD, inclusivComponente ale camerei de vid, plăci și fitinguri de distribuție a gazului, piese de manipulare și strângere a plachetelor, componente ale pompei și supapelor, piese RF, plăci de răcire, radiatoare și componente ale kit-ului de proces. Capacitățile noastre de strunjire CNC, frezare, prelucrare pe 5-axe, CNC elvețian și freza-de strunjire acceptă componente cu toleranță strânsă pentru echipamente de gravare, depunere, litografie, implantare ionică, CMP și metrologie.
Piesele echipamentelor semiconductoare trăiesc într-o lume diferită de piesele industriale obișnuite: trebuie să supraviețuiascăvid, gaze de proces corozive, plasmă, cicluri de temperatură și{0}}cerințele de control al particulelor. Prin urmare, selecția materialului este prima decizie în orice proiect de prelucrare a semiconductoarelor. Preluăm note exacte -316L VIM-VAR și 316L inoxidabil, aluminiu 6061-T6 și 7075-T6, titan de gradul 5, molibden TZM, cupru OFHC C10100, aliaje de nichel și materiale plastice de inginerie PEEK/PTFE- și aplicați finisaje compatibile cu camera curată- acolo unde aplicația le cere. Piesele sunt fabricate conform dimensiunilor specificate, toleranțelor, materialelor și cerințelor de finisare, cu certificate de material disponibile la cerere.
De la prototipuri unice pentru dezvoltarea de noi scule până la execuții repetate de producție pentru kiturile de proces de rezervă, prelucăm componente semiconductoare până la desen - indiferent de cantitate.
Piese prelucrate CNC pentru aplicații cu semiconductori
Echipamente de gravare și depunere
Corpuri camere · căptușeli camerei · plăci de distribuție a gazului · ansambluri de electrozi · inele de focalizare · inele de cleme · piese de montare pentru cap de duș
Materiale:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Grad 5 titan
Sisteme de vid și livrare de gaz
Flanse de vid (CF/KF/ISO) · Componente pentru supape de blocare · Fitinguri pentru conducte de gaz · Etanșări frontale de tip VCR- · Blocuri colectoare · Piese de montare a pompei
Materiale:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Manipularea și transportul napolitanelor
Brațe robot · efectoare de capăt · cleme de napolitană · mânere de margine · componente pentru casete · piese pentru elevator și furcă · suporturi cinematice
Materiale:6061-T6 · 7075-T6 · · cupru beriliu C17200 · titan de gradul 5
Piese pentru implantare ionică și linie de lumină
Componente pentru linia fasciculului · electrozi · deschideri · piese de suprimare și extracție · scuturi de temperatură înaltă-
Materiale:TZM molibden · Tungsten W · Ta-2,5W tantal
Componente de putere RF și cu plasmă
Conectori RF · carcase de trecere · suporturi de electrozi · piese de ecranare · arcuri de contact
Materiale:C10100 OFHC cupru · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Managementul termic și CMP
Plăci de răcire · componente chiller · radiatoare · piese pentru cap CMP · inele de reținere · componente platine
Materiale:C10100 OFHC cupru · 6061-T6 · 316L
Echipamente de metrologie și inspecție
Suporturi optice · componente de scenă · plăci de bază · dispozitive de aliniere · piese de montaj cinematice
Materiale:6061-T6 · 7075-T6 · grad 5 titan
Echipamente de procesare și curățare umedă
Componente pentru rezervor și baie · brațe de pulverizare · suporturi pentru duze · piese pentru role și perii · fitinguri rezistente-chimice
Materiale:316L · Hastelloy C-276 · Titan de gradul 2
Piese prelucrate CNC pentru semiconductori pe care le producem
Componentele camerei de vid
Corpuri ale camerei, capace, căptușeli și inele de montare cu planeitate controlată, suprafețe de etanșare și cerințe reduse de degazare.
Materiale:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Flanse și fitinguri pentru vid
Flanse CF (ConFlat), KF și ISO, nipluri, adaptoare și fitinguri pentru conducte de gaz pentru service UHV.
Materiale:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Plăci și duze de distribuție a gazelor
Plăci de distribuție-forate cu precizie, duze de injecție și hardware de montare pentru cap de duș.
Materiale:6061-T6 · Titan de gradul 5 · 316L
Cleme, inele și mânere pentru napolitane
Inele de focalizare, inele de clemă, mânere de margine și ghidaje de napolitană cu planeitate strânsă și control dimensional.
Materiale:6061-T6 · C17200 · grad 5 titan
Brațe robot și efectoare terminale
Brațe de transfer de napolitane, furci și efectoare de capăt cu greutate echilibrată, rigiditate și control al particulelor.
Materiale: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Componente pompe și supape
Carcase, rotoare, palete, poppete, scaune și piese de tijă pentru pompe uscate, supape cu gură și hardware de control al debitului de masă-.
Materiale:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit de proces și piese consumabile
Piese de kit înlocuibile concepute pentru comenzi repetate, cu toleranțe și curățenie constante.
Materiale:6061-T6 · titan de gradul 5 · 316L VIM-VAR
Plăci de răcire și radiatoare
Plăci-răcite cu apă, radiatoare și părți ale răcitorului de lichid cu suprafețe critice-planetate.
Materiale:C10100 OFHC cupru · 6061-T6 · 316L
RF și componente de contact
Carcase RF, piese de conector, arcuri de contact și componente de ecranare EMI.
Materiale: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Aveți o parte personalizată de semiconductor? Trimiteți fișierul dvs. CAD
Procese de prelucrare CNC pentru piese semiconductoare
Strunjire CNC
Cel mai bun pentru:Fitinguri · nipluri · tije supapelor · rotoare pompe · duze
Ideal pentru componente cilindrice cu concentricitate strânsă.
Frezare CNC
Cel mai bun pentru:Corpuri camere · plăci de bază · colectoare · console
Potrivit pentru componente plate, prismatice și cu mai multe{0}}funcții.
Prelucrare CNC cu 5 axe
Cel mai bun pentru:Efectori terminali · carcase complexe · Componente RF
Prelucrează geometrii complexe și unghiuri compuse într-o singură configurație.
CNC Turn-frezare
Cel mai bun pentru:Fitinguri pentru conducte de gaz · piese de cuplare cu caracteristici frezate
Combină strunjirea și frezarea pentru piese rotative complexe.
Prelucrare CNC elvețiană
Cel mai bun pentru:Fitinguri mici · componente ale senzorului · știfturi de precizie
Conceput pentru componente mici, subțiri și de precizie{0}}de mare volum.
Șlefuire și șlefuire CNC
Cel mai bun pentru:Suprafețe de etanșare · locașuri lagăre · gauri de precizie
Folosit pentru diametre critice, potriviri și finisaje în oglindă (Ra 0,1–0,4 μm realizabil).
Materiale de prelucrare CNC cu semiconductor
Pentru componentele semiconductoare, alegerea materialului depinde decompatibilitate cu vid, chimie de proces, rezistență la plasmă, temperatură, magnetism, generare de particule și management termic. Prelucăm o gamă de materiale metalice și plastice de inginerie pentru camere, sisteme de gaz, manipulare a plachetelor, RF și piese termice.
| Material | Note comune | Aplicații tipice pentru semiconductori | Avantaje cheie |
|---|---|---|---|
| Aluminiu | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Corpuri camere, plăci de bază, brațe robot, radiatoare, console | Ușoare, anodizate, conductivitate termică bună; 6061-T6 este calul de lucru pentru feroneria camerei |
| Oţel inoxidabil | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Flanse de vid, fitinguri de gaz, piese de supape, feronerie de înaltă{0}}rezistență | Rezistență la coroziune și temperatură; 316L VIM-VAR este standardul pentru serviciul de degazare redusă UHV- |
| Titan | Gradul 2 (CP) · Gradul 5 (Ti-6Al-4V) | Piese de distribuție a gazelor, truse de proces, hardware de procesare umedă | Rezistență la plasmă și la substanțe chimice, rezistență mare-la-greutate, ne-magnetice |
| Cupru | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 cupru beriliu | Piese RF, plăci de răcire, arcuri de contact, hardware electric | Conductivitate electrică și termică excelentă; OFHC ideal pentru gestionarea RF și a căldurii |
| Aliaje de nichel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Fitinguri rezistente-chimice, piese la temperatură înaltă-, structuri de metrologie | Rezistență chimică și la temperatură; Invar 36 oferă expansiune termică aproape de -zero |
De ce 316L VIM-VAR?Pentru componentele de ultra-vide-vid (UHV), lucrăm la prelucrare316L VIM-VAR- dublu-inoxidabil topit cu conținut foarte scăzut de gaz și incluziuni. Degazează mai puțin, sudează mai previzibil și rămâne curat în timpul serviciului de aspirare. Dacă desenul dvs. specifică VIM-VAR sau electrolustruit 316L, putem furniza materialul cu certificare completă.
Selectarea materialelor pentru medii cu aspirat și camere curate
Compatibilitate cu vid și degazare
Materialele din interiorul camerei nu trebuie să elibereze gaze sau să capteze particule. 316L VIM-VAR, 6061-T6 sunt alegeri comune; porozitatea și finisarea suprafeței sunt controlate pentru a menține degajarea scăzută.
Rezistență chimică și plasmă
Gazele de proces halogenate și fluorurate atacă multe metale. Molibdenul TZM, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, titanul de gradul 5 sunt selectați pentru chimia corozivă și expunerea la plasmă.
Controlul particulelor și al contaminării
Uzura, marginile și resturile prinse generează particule care ucid randamentul. Debavurăm fiecare margine, controlăm rugozitatea suprafeței și curățăm piesele conform standardelor camerelor curate înainte de ambalare.
Managementul termic
Căldura afectează uniformitatea procesului. Cuprul C10100 OFHC și 6061-T6 sunt folosite pentru plăci de răcire și radiatoare; TZM și tungsten se ocupă de linia fasciculului de înaltă temperatură și piesele camerei.
Proprietăți magnetice și electrice
Unele procese necesită materiale ne-magnetice, cum ar fi 316L, titan de gradul 5; Hardware-ul RF și de împământare utilizează cupru OFHC C10100 și cupru beriliu C17200.
Precizie și stabilitate
Piesele de metrologie și litografie au nevoie de stabilitate dimensională: aluminiu 6061-T6 și 7075-T6, titanul de gradul 5 păstrează geometria prin schimbările de temperatură.
Toleranțe și specificații pentru prelucrarea CNC a semiconductorilor
Componentele semiconductoare necesită adesea o precizie la nivel de-microni pe fețele de etanșare, referințe de montare, suprafețele de contact-plachetei și alezajele de precizie, astfel încât uneltele se asambla corect și procesele rămân repetabile.
| Caietul de sarcini | Capacitate tipică | Aplicații tipice pentru semiconductori |
|---|---|---|
| Dimensiuni liniare | ±0,01 mm (precizie la ±0,005 mm) | Piese camere, plăci de bază, colectoare |
| Diametrul alezajului și arborelui | ±0,005–0,01 mm | Rotoare de pompe, tije de supape, fitinguri de precizie |
| Planeitatea | Până la 0,01 mm/100 mm | Fețe de etanșare, plăci de răcire, suporturi cinematice |
| Concentricitate / Runout | Până la 0,01 mm | Piese rotative ale pompei, cuplaje |
| Poziția adevărată | ±0,01 mm | Modele de găuri de șuruburi-, găuri de distribuție a gazului |
| Rugozitatea suprafeței | Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm la cerere | Fețe de etanșare, suprafețe de contact-plachetă, interioare ale camerei |
| Debavurarea marginilor | Controlat pe desen (micro-debavurare disponibilă) | Toate părțile-critice ale particulelor |
| Toleranță la fir | Conform cerințelor ISO/ASME | Fitinguri, flanse, feronerie de montaj |
Caracteristici critice pe care le controlăm
Caneluri de etanșare și inel O-- adâncime, lățime și finisare a suprafeței controlate pentru etanșări cu vid și fluide.
Wafer-Suprafețe de contact- controlul planeității și rugozității pentru a evita deteriorarea plăcilor și generarea de particule.
Alezuri și potriviri de precizie- alezaje precise pentru rulmenți, arbori și componente prin presa-.
Găuri de distribuție a gazelor- dimensiunea exactă a găurii, poziția și debavurarea pentru un flux uniform de gaz.
Date și caracteristici de montare- date coerente pentru asamblare și aliniere repetabilă.
Finisaje de suprafață pentru piese CNC semiconductoare
Finisarea suprafeței face parte din strategia de contaminare și coroziune a echipamentelor semiconductoare. Finisajul corect controlează particulele, degajarea de gaze, rezistența chimică și comportamentul electric.
| Finisaj de suprafață | Materiale aplicabile | Piese tipice semiconductoare | Beneficiul principal |
|---|---|---|---|
| Electrolustruire | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Flanse de vid, conducte de gaz, căptușeli de cameră | Îndepărtează materialul de suprafață și incluziunile; reduce degajarea și captarea particulelor |
| Pasivare | 316L · 304L · 17-4 PH | Fitinguri, elemente de fixare, piese de supape | Îndepărtează fierul liber, îmbunătățește rezistența la coroziune |
| Tip II Anodizare | 6061-T6 · 6063-T5 | Corpuri camere, plăci de bază, console | Strat izolator, rezistent{0}}la coroziune; opțiuni de culoare |
| Anodizare dură (tip III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Uzura suprafete, ghidaje, piese robot | Strat protector dur, -rezistent la uzură |
| Placare cu nichel electroless | 6061-T6 · 7075-T6 · Oțel | Hardware pentru cameră, piese pentru kit de proces | Protecție uniformă la uzură și coroziune |
| Placare cu aur | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Contacte RF, piese conector | Rezistență scăzută la contact, protecție la coroziune |
| Placare cu tablă | C10100 · C11000 | Conductori electrici, bare colectoare | Lipibilitate și protecție la coroziune |
| Sablare cu mărgele | 6061-T6 · 316L · Oțel | Carcase, capace, suprafețe ne-critice | Finisaj mat uniform (controlat pentru eliberarea particulelor) |
| Curatenie in camera curata | Toate materialele | Toate piesele înainte de ambalare | Curățare cu ultrasunete în mai multe-etape, fără ulei, fără reziduuri, controlat-de particule |
Controlul calității prelucrării CNC cu semiconductori
Inspectăm dimensiunile critice, potrivirile, planeitatea, deformarea și cerințele de suprafață pe parcursul producției pentru a ne asigura că piesele semiconductoare prelucrate CNC respectă desenul. Pentru proiectele care necesită o calitate documentată, putem furniza certificate de materiale, rapoarte dimensionale și documentație de curățenie pentru a sprijini inspecția dvs.
Verificarea materialului
Verificarea materialului
Inspecție dimensională
Inspecție GD&T
Inspecția filetului
Inspecție de finisare a suprafeței
Inspecția finală
Inspecția ambalajului
| Articol de inspecție | Echipament / Metodă | Piese tipice semiconductoare |
|---|---|---|
| Inspecție dimensională | CMM · Etrieri · Micrometre | Dimensiunile totale ale piesei |
| Diametrul alezajului și arborelui | Ecartament alezajului · Ecartament știft · CMM | Rotoare de pompe, tije de supape, fitinguri |
| Planeitate și paralelism | Placă de suprafață · CMM | Fețe de etanșare, plăci de răcire |
| Poziția adevărată | CMM | Modele de găuri, plăci de distribuție a gazelor |
| Rugozitatea suprafeței | Tester de rugozitate | Fețe de etanșare, suprafețe de contact-plachetă |
| Inspecția filetului | Go/No-Go Thread Gauges | Fitinguri și elemente de fixare |
| Verificarea materialului | Spectrometru + Certificat de material | Materii prime primite (EN 10204 3.1 disponibil; certificare VIM-VAR la cerere) |
| Verificarea curățeniei | Verificare vizuală + particule la cerere | Camera curată-piese livrate |
| Inspecția finală | CMM + Raport de inspecție | Acceptarea dimensională finală |
Aveți nevoie de un control de calitate documentat?Trimiteți-ne desenele și cerințele de inspecție.
Prelucrare CNC cu prototip și{0}}volum redus pentru semiconductor
Proiectele cu semiconductori încep adesea cu prototipuri - noi modele de instrumente, dezvoltare de kit de proces, piese de upgrade sau componente de înlocuire care trebuie validate înainte de producție. Sustinemprototip și prelucrare CNC cu volum redus-de la mostrele inițiale până la comenzi-de loturi mici repetate.
Prelucrare prototip
Pentru dezvoltarea de noi instrumente, validarea proceselor și modificările de proiectare.
Cantitate tipică:1–10 buc
Producție cu-volum redus
Pentru sisteme pilot, upgrade-uri de scule și execuții inițiale de producție.
Cantitate tipică:10–1,000+ buc
Repetați producția
Pentru truse de proces de rezervă și comenzi recurente cu modele consacrate.
Cantitate tipică:Pe baza cerințelor proiectului
Potrivit pentru
Camera de vid și hardware de livrare a gazului
Componente de manipulare și prindere a napolitanelor
Piese de gravare, depunere și implantare ionică
RF, piese de management electric și termic
Instrumente de metrologie și inspecție
Piese de schimb și truse de proces pentru uneltele existente
Ambalare și timp de livrare pentru piesele CNC cu semiconductor
Ambalare
Protecție individuală:Pungi din PE, spumă sau folie de protecție pentru suprafețe prelucrate
Ambalare camera curata:Piesele curățate dublu-sacate în pungi curate (opțiune de purjare cu azot-disponibilă)
Piese mici:Cutii de carton împărțite pentru a preveni zgârierea și contactul dintre-la-parte
Piese de precizie:Inserții din spumă și compartimente separate pentru componente critice
Ambalaj personalizat:Numerele piesei, etichetele, cantitățile și cerințele de ambalare specifice-clientului
Timp de livrare tipic
| Tip comandă | Timp de livrare tipic |
|---|---|
| Prototip | 5-10 zile lucrătoare |
| Comanda cu-volum redus | 10-20 de zile lucrătoare |
| Comanda de productie | 15-30 de zile lucrătoare |
| Repetați comanda | 10-25 zile lucrătoare |
FAQ
Î: Ce piese prelucrate CNC cu semiconductori puteți fabrica?
R: Producem componente personalizate pentru camere de vid, flanșe și fitinguri pentru conducte de gaz, plăci de distribuție a gazului, cleme și inele pentru napolitane, piese de braț robot, componente de pompă și supapă, piese pentru linia fasciculului de implantare ionică, componente RF, plăci de răcire, radiatoare și piese de kit de proces pentru echipamente semiconductoare.
Î: Ce toleranțe de prelucrare CNC puteți obține?
R: Toleranța noastră standard CNC este de obicei de ±0,05 mm, cu prelucrare de precizie până la ±0,02 mm și caracteristici critice selectate până la ±0,005–0,01 mm, în funcție de geometrie, material și cerințele de desen.
Î: Puteți furniza 316L VIM-VAR pentru componentele de vid?
A: Da. Pentru servicii de vid ultra-înalt-putem prelucra 316L VIM-VAR (topit prin inducție în vid și retopire cu arc în vid) cu conținut scăzut de gaz, furnizat cu certificare de material. Polisarea electrică este disponibilă pentru reducerea degazării și captarea particulelor.
Î: Oferiți curățenie și ambalare compatibile cu camerele curate-?
A: Da. Piesele pot fi curățate cu ultrasunete în mai multe-etape, uscate și ambalate dublu-în pungi curate (purjare cu azot opțională) pentru a menține suprafețele fără particule-pentru livrarea în camera curată.
Î: Puteți furniza certificate de materiale și rapoarte de inspecție?
A: Da. În funcție de cerințele proiectului, putem furniza certificate de materiale (EN 10204 3.1, inclusiv certificare VIM-VAR), rapoarte de inspecție dimensională, rapoarte CMM și înregistrări de finisare a suprafeței.
Î: Puteți prelucra componente ne-magnetice?
A: Da. Prelucăm clase ne-magnetice, inclusiv inoxidabil 316L, titan de gradul 5, aluminiu 6061-T6 și PEEK pentru aplicații în care magnetismul trebuie evitat.
Î: Ce finisaje de suprafață aplicați pieselor semiconductoare?
R: În funcție de material și aplicație, oferim electrolustruire, pasivizare, anodizare dură de tip II și tip III, placare cu nichel fără electricitate, placare cu aur și cositor, sablare cu mărgele și curățare în camerele curate.
Î: Acceptați desene 2D și fișiere CAD?
R: Putem lucra din fișiere comune STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF și desene 2D.
Î: Acceptați producția de prototip și{0}}volum redus?
A: Da. Acceptăm cantități de prototipuri de la 1 până la 10 bucăți, producție de-volum redus de la 10–1,000+ bucăți, precum și comenzi de producție repetate pentru kituri de proces și piese de schimb.
Î: Care este timpul de livrare tipic pentru piesele CNC cu semiconductor?
R: Perioadele de livrare tipice sunt de 5–10 zile lucrătoare pentru prototipuri, 10–20 de zile lucrătoare pentru comenzile cu volum redus-și 15–30 de zile lucrătoare pentru comenzile de producție, în funcție de complexitatea piesei, cantitatea, materialul și finisarea.
Tag-uri populare: piese prelucrate cnc semiconductor, China producători de piese prelucrate cnc semiconductor, furnizori, fabrică, titan
O pereche de
nuUrmătoarea
Piese prelucrate CNC marineS-ar putea sa-ti placa si
Trimite anchetă